MHY485-1CH

產(chǎn)品特點
該檢測儀本著小巧、便攜、易用的特點而研發(fā)，本產(chǎn)品面向與有一定開發(fā)能力的使用者，它將膜厚儀的核心內(nèi)容通過RS485采用標(biāo)準(zhǔn)的ModbusRTU傳輸給使用者。，使用者可以充分發(fā)揮自己的能力推展出非常強(qiáng)大的功能。它采用我公司專有的高速、高頻采樣技術(shù)及定制化軟件編程技術(shù)開發(fā)與制造。外觀大小僅100*75*25mm，采用標(biāo)準(zhǔn)35mm卡槽。方便用戶集成到控制柜。它功能強(qiáng)大、質(zhì)量可靠、測量精度高(0.01埃)、價格低廉，可為您提供最實用和最經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品。本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于磁控濺射、蒸發(fā)濺射、電子束濺射等鍍膜機(jī)，因此適用于光學(xué)鍍膜、OLED生產(chǎn)線、半導(dǎo)體IC生產(chǎn)線、醫(yī)藥實驗產(chǎn)線及其它高精準(zhǔn)膜層厚度控制的鍍膜機(jī)。
 
 
 
 
 
 
參數(shù)：
      

項目	參數(shù)	說明
通道	單通道或雙通道	可拓展30個通道
頻率計分辨率	0.02Hz	測量頻率為6M
頻率穩(wěn)定度	±0.02Hz	測量頻率為6M
膜厚分辨率	0.01 Å	鍍膜材料默認(rèn)“鋁”時
內(nèi)建材料數(shù)	>230種	可自定義
適用晶振片	6MHz  14mm	接受定制
輸入接口	四線制	供電DC5-24v 500ma
輸出接口	BNC接頭 5V	需要和振蕩器配合使用，不可短路，混入電壓超7V會損壞設(shè)備
使用溫度、濕度	-30~40攝氏度，不結(jié)露	內(nèi)建溫度補(bǔ)償保證穩(wěn)定性
功耗	<5W
機(jī)箱尺寸	75*100*25mm

 
 
工作原理：
       1、原理框圖

 
 
2、石英晶體膜厚測量原理
如上圖所示，石英晶體與振蕩器構(gòu)成諧振回路，產(chǎn)生一穩(wěn)定的振蕩信號。新晶片的振蕩頻率為6MHz,當(dāng)晶片上被鍍膜后，由于晶片重量及表面張力增加，其諧振頻率將會降低，此頻率變化由頻率計進(jìn)行檢測，根據(jù)頻率變化率與材料密度和材料聲阻等參數(shù)計算出晶片上所鍍膜層的厚值。最后由單位時間內(nèi)膜層厚度的變化量計算出鍍膜速率。
 
 
操作說明

1. 線纜插接

插接順序如下圖所示，使用過程中請注意以下事項①振蕩器到探頭的距離越短越好②專用同軸電纜不應(yīng)超過5m③USB線纜請使用本公司制作的專用線纜，此線纜長度不超過2m

1. 探頭各個線纜接頭處應(yīng)保持絕緣2MΩ（9V條件下）以上，否則有可能造成不穩(wěn)定
2. CON1：VCC(紅)、485A（藍(lán)）、485B（黃）、GND（黑）。

 

 
 
 
 
 
 
 
 
本公司電腦端軟件2.0操作界面介紹
 
 
“Set“菜單內(nèi)可設(shè)置濾波系數(shù)（FilteringCoefficient）、通道選擇（Channels）、保存間隔（SavePeriod），壽命參考頻率（Fhealth）。

1. 濾波系數(shù)：默認(rèn)為3，范圍是1-10。本濾波采用平移平均法，數(shù)字越大則穩(wěn)定性越好，但是反應(yīng)也較慢。注：設(shè)備內(nèi)部還內(nèi)部集成了硬件濾波，軟件上還有卡爾曼濾波，穩(wěn)定性足夠，所以這里一般默認(rèn)即可
2. 通道選擇：購買為單通道的機(jī)型則默認(rèn)即可，購買的書雙通道的機(jī)型則這里選擇2.
3. 保存間隔：指的是生成EXCEL表格內(nèi)的記錄間隔時間。

“RateLineSet“菜單內(nèi)可設(shè)置速率曲線 X、Y軸的范圍。

1. Rate_XAxisTime(min)：X軸的單位是min。
2. Rate_YAxisRange(Å)：Y軸的單位是Å /s。

“ThicknessLineSet “菜單內(nèi)可設(shè)置膜厚曲線 X、Y軸的范圍。

1. Thickness_XAxisTime(min)：X軸的單位是min。
2. Thickness_YAxisRange(Å)：Y軸的單位是Å /s。

“COM“菜單用來設(shè)置本設(shè)備在電腦端的通訊口：點擊后默認(rèn)刷新搜索到的所有COM口，如果電腦上的COM較多需要用戶自行判斷哪一個才是本機(jī)的，如果用戶搞不清可以聯(lián)系本公司技術(shù)進(jìn)行遠(yuǎn)程處理
“Health“ 壽命 顯示當(dāng)前晶振片的剩余壽命。
“Frequency” 頻率 顯示當(dāng)前讀取到對應(yīng)通道的探頭震蕩頻率
“Rate“鍍膜速率，根據(jù)每秒頻率變化和對應(yīng)材料的參數(shù)以及修正比例有關(guān)。Rate=△F*D*Z*M，△F 每秒變化頻率   D 密度  Z 聲波阻抗比值 M 修正比例，此公式為示意公式，旨為表達(dá)各部分之間的額關(guān)系。
“Thickness“  膜厚 從點擊開始那一刻到當(dāng)前的累計膜厚 Thickness =△F*D*Z*M ?！鱂 變化頻率   
 
“Material“ 材料 的下拉菜單可選擇材料，選擇后會自動采用對應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行計算。
“Layer“ 膜層 顯示當(dāng)前正在運行的材料名稱。
“Modify“ 修正比例  用來補(bǔ)償晶體上鍍膜實際厚度與被鍍膜產(chǎn)品基材上的實際厚度不匹配的變量。Thickness =△F*D*Z*M，△F 每秒變化頻率   D 密度  Z 聲波阻抗比值 M 修正比例。例：如探頭相對于基材的靶基距小，會產(chǎn)生膜厚儀顯示為10nm厚度，實際基材上被鍍膜厚度5nm，那么此處修改為50%。
“DefultMaterial“框體內(nèi)輸入自定義材料參數(shù)，在Material的下拉菜單中選擇第一個”defult“此組參數(shù)生效。注：如果當(dāng)前為”defult“，此時重新設(shè)置了DefaultMaterial的參數(shù)，則需要先載入別的任意材料后再選回”defult“才能生效。
“density“ 密度 對應(yīng)材料的密度，單位時g/cm3。
“Z ratio“ Z阻抗  對應(yīng)材料的聲傳播速度與聲音在空氣中傳播速度的比值。
 
 
 
點擊“Save to…“按鈕會出現(xiàn)彈窗供用戶自己選擇保存位置。注：運行此軟件的電腦務(wù)必有D盤分區(qū)，否則無法運行此軟件。
供用戶選擇保存的內(nèi)容
點擊“Save“按鈕后才會保存
實時曲線框中的“Clear“、”Stop“用于清除之前的曲線和停止生成曲線
實時曲線框中的“Rate、”Thickness“用于選擇生成曲線的類型
點擊“Run“按鈕會開始計算速率和膜厚，點擊”Clear“按鈕會清除累計膜厚
 
自行設(shè)計軟件或者使用PLC、HMI通訊手冊
 

 
 
注意事項及維修
故障預(yù)防：
1、本膜厚監(jiān)控器屬于電子類產(chǎn)品，它和所有的電子產(chǎn)品一樣怕靜電，電路上雖然做了有效的措施，但是現(xiàn)實使用過程中的措施也是必要的
2、靜電的釋放通過集成電路的輸入端可以造成集成電路的損壞，靜電的累積可能是由于空氣干燥導(dǎo)致的摩擦起電不能有效的緩慢釋放導(dǎo)致的。為了使靜電釋放進(jìn)入集成電路的機(jī)會縮減到最小，操作前先觸摸下確定有效接地的外殼后再進(jìn)行相關(guān)作業(yè)。

1. 不要接入超出本說明以外的電壓或信號。
2. 探頭蓋子需要每換一次晶振片時將內(nèi)部擦拭干凈，不能有鍍膜殘留物。
3. 更換晶振片應(yīng)采用真空筆或者塑料鑷子安裝到探頭蓋子上，然后蓋上固定器
4. 鍍膜環(huán)境的探頭位置環(huán)境溫度超過50攝氏度需要通工藝?yán)鋮s水進(jìn)行降溫使用
5. 鍍膜環(huán)境的探頭位置環(huán)境溫度>150攝氏度(小于300攝氏度)需要通將探頭內(nèi)部電纜連同水管用鋁箔紙全部包裹。（本公司探頭）
6.  

維修：
       不顯示頻率:  

1. 如果是USB版本檢查COM口選擇是否錯誤-選擇正確的口。
2. 如果是485版本檢查通訊參數(shù)及接線是否正確。
3. 檢查COM燈是否快速閃爍（<0.5s）-如果快速說明通訊正常，著重檢查震蕩器及前后電纜和探頭是否工作正常
4. 檢查同軸電纜是否短路或斷路。
5. 檢查晶振片是否老化或使用太久。
6. 檢查探頭穩(wěn)定器彈片是否彈力不足。
7. 檢查探頭真空內(nèi)線是否燒糊或短路或開路。
8. 探頭蓋子務(wù)必保持良好的導(dǎo)電性，每次都維護(hù)時必須的。 

售后服務(wù)
茲保證：本產(chǎn)品做工優(yōu)良，承諾產(chǎn)品質(zhì)保期為12月。以上在指導(dǎo)說明書進(jìn)行正確操作的情況下有效，如安裝和使用不當(dāng)、誤操作、人為事故、銹蝕本公司不承擔(dān)任何質(zhì)保責(zé)任，在該質(zhì)保期間，本公司將免費進(jìn)行返廠維修，我公司有權(quán)對最終質(zhì)保條款內(nèi)容進(jìn)行調(diào)整。
 
用戶責(zé)任
用戶負(fù)責(zé)要按照本手冊及其附加內(nèi)容之說明對該設(shè)備進(jìn)行正確操作和適當(dāng)保養(yǎng)，正確操作包括：按時更換磨損、破碎和所缺的零部件。如果用戶對裝置的使用或安裝有不理解的地方，應(yīng)及時與本公司聯(lián)系咨詢。咨詢電話：張工 13335835025
 
保密
保管好并仔細(xì)閱讀本手冊，可有助于用戶更好的完成對設(shè)備的操作和維護(hù)。用戶沒有對他人泄漏本手冊內(nèi)容的權(quán)力，用戶不得打開設(shè)備進(jìn)行抄襲操作，本設(shè)備已申請專利，仿制必究！
 
Disclosure 聲明
特此聲明: 本資料僅供設(shè)備擁有者作為設(shè)備操作及維護(hù)使用，并非權(quán)益轉(zhuǎn)讓，未經(jīng)比鄰科技書面同意的任何復(fù)制設(shè)備及資料的行為都是不被允許的
 
上述保證僅適用于根據(jù) BestLinkJX公司所提供的使用說明、在正確操作下使用該設(shè)備，不包括不正確安裝、拆解、濫用、誤用、疏忽、腐蝕或在運輸過程中所造成的損害。
 
任何擅自對儀器進(jìn)行設(shè)計修改和功能變更都不屬于本公司質(zhì)保條款的質(zhì)保范疇，一些后果均有用戶承擔(dān)。
用戶的權(quán)益在上述有限保證條件下 BestLinkJX公司可選擇修理、更換、或按設(shè)備價格退款。
 
如經(jīng)過 BestLinkJX公司檢驗發(fā)現(xiàn)故障設(shè)備不符合上述保修條件，則損失由用戶承擔(dān)。 未盡事宜最終解釋權(quán)歸嘉興比鄰科技有限公司所有
 
該項保修條款及其他的保修條款明確表明嘉興比鄰科技有限公司對買方所承擔(dān)的責(zé)任但不擔(dān)保將該產(chǎn)品用于可適用范圍之外的用途。嘉興比鄰科技有限公司不承擔(dān)為該項保證而引起的任何事件所產(chǎn)生的損壞或期望的利益及附帶時間上的損失，及其他與購買者相關(guān)的第三者的損失。
 
Safety 安全
使用、操作設(shè)備必須遵守所有的電器設(shè)備安全操作程序標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)需要在設(shè)備內(nèi)部工作時，必須首先切斷電源，只有經(jīng)過訓(xùn)練的人員方可進(jìn)行維護(hù)，保養(yǎng)工作。
常規(guī)防范措施：任何人接觸真空系統(tǒng)內(nèi)、真空系統(tǒng)附近及本產(chǎn)品內(nèi)部的高壓電路都會造成致命傷害！在打開真空室門或拆卸面板時一定要關(guān)閉相關(guān)設(shè)備電源！在連接監(jiān)控儀之前，一定要關(guān)閉本機(jī)及相關(guān)設(shè)備的電源，并將所有的高壓輸出裝置與一個接地點短接。